电容sensormicrosense，LLC，以前称为幕墙技术，由三个主要业务–精密电容式传感器、振动样品磁强计和磁光克尔效应（MOKE）的国家的最先进的磁测量和晶圆测量系统的工具。直到公司被出售，在2009年11月，我们是KLA-Tencor公司的子公司，全球领先的半导体晶圆缺陷检测和测量工具。微观意义上是主机行业包括半导体设备、数据存储、机床、太阳能、汽车和高亮度LED。微观意义提供了客户价值和安全性，通过广泛的商业经验、资金实力、全球支持和技术领导。



利用电容传感器进行高分辨率测量

由Robert C. Abbe创立于1967，我们的电容传感器业务最初是ADE公司的一部分。艾德公司是以其远见和新颖的方法分辨率高，要求尺寸测量应用的非接触式测量。随着时间的推移，ADE逐渐成为世界领先的裸半导体晶圆测量工具供应商。高分辨率电容式传感器的位置和位移测量（也被称为“盖片”）就等同于“门面”和我们的商标名称，“微观意义”。



微观意义提供了电容式传感器和OEM计量模块，基于专利的电容式感应技术，使非常精确，高带宽的测量，如太阳能硅片、精密产品的蓝宝石晶片、硬盘驱动马达，空气轴承主轴，精密X-Y阶段、光盘、汽车部件、机床。我们的电容式位移传感器提供了业界最高的分辨率，不到0.05纳米，卓越的稳定性和几乎无限的使用寿命。



磁力测量获奖工具

微观意义上的磁计量业务起步的数字测量系统（DMS）在25年前，并持续为ADE技术的一部分自1997。



我们在磁性测量的世界级专家团队，微观意义上是一种高灵敏度振动样品磁强计进行磁性测量的领先供应商。我们的振动样品磁强计有几种模式具有多种功能，领域范围，分辨率和选项。我们的VSM系统用于在世界学术界和商业界最有声望的磁学实验室进行基础磁学研究。还提供了一系列在线生产磁性计量工具，以满足当今快速发展的硬盘存储系统的严格要求。2012、微观意义上推出了世界上第一台300毫米准备非接触磁特性的测量工具（图右）MRAM晶片的开发和制造。



晶圆尺寸测量的创新工具

蓝宝石晶圆微观意义表征提供了高灵敏度的测量工具、碳化硅和各种类型的半导体晶片。微观意义上获得西格玛科技，公司坦佩，亚利桑那州2012年6月。通过此次收购，微观意义上说领先的晶圆检测工具对其创新的计量解决方案组合。西格玛科技系统整合多种传感技术如光学法、干涉法和西格玛科技专利的自动定位背压（APBP）技术。