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真空环境下精密位置传感器
来源:薄膜压力传感器 | 发布时间:2018/2/17 19:44:30 | 浏览次数:

真空环境下精密位置传感器的研制

精密位置传感器,将在高真空或超高压操作(超高真空)环境必须精心构建以低蒸汽压材料以避免出气。微观意义上已经准备在真空环境操作的传感器相当的经验,请与您的具体要求与我们联系。我们的探针已成功地应用于FIB(聚焦离子束)系统、扫描电子显微镜系统、光刻系统和各种大型实验物理项目中。



线性位置测量范围从10微米到4毫米。

玻璃金属探针提供低释气和高稳定性。探头体积小,以减少真空室的表面积。

真空制备的圆柱形探头使用真空兼容的材料和粘合剂,并提供几乎零的散热探头。

探头有非磁性结构。

提供几种风格的室壁的引线

真空制备的探头可用于4800系列和8800系列精密位置传感器。

 
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