用于平面控制的电容式传感器 电容传感器从微观意义上广泛使用的各种焦平面控制，或调零，在大气和真空环境中的应用。 这些应用程序通常要求系统光学相对一部分在检查在微米或亚微米级的重复定位，而在检验时的光学系统下快速移动。 图1 -检测硅晶片的表面-测量相对于光学的z中硅片的位置 在焦平面控制应用中，位置传感器既用作伺服回路的反馈传感器，也用作独立的位移测量装置。它用于维护系统光学和被检测部件之间所需的偏移量。 推荐产品 解调器传感器系列应用 用于焦点平面控制的4810型2800系列位置传感器 型号8810 2800系列高分辨率位置传感器用于焦平面控制
