微观意义ultramap c200a是一个自动化的LED蓝宝石晶片测量系统基于微观意义上的专有双面电容传感技术。系统测量临界基板参数包括厚度、TTV，弓，经厚度变化和局部（LTV）的高吞吐量。的ultramap C200是专为蓝宝石晶片制造商和LED芯片制造商需要更好的晶片几何检测具有更高的测量重复性，相比传统的光学测量系统。
