用于振动测量的电容式传感器 非接触精密电容式传感器特征小，低质量的传感器头和快速的响应时间，所以他们非常适合测量各种高性能的机器，包括精密X-Y阶段，机床振动，高速印刷设备和半导体制造设备。 理想的振动测量应用中，它是不可能的或实用的使用加速度计。 用于半导体制造的精密级，可以在晶片平面上测量级堆叠的振动，而不增加晶片卡盘的质量。 非接触测量精密扫描级结构振动，以确定相对于系统光学的垂直振动效应。在评估扫描系统的结构刚度时，这为设计工程师提供了强有力的诊断工具。 电容式传感器为高性能、主动隔振系统提供伺服系统反馈。 推荐产品 解调器传感器系列应用 型号8810 2800系列振动测量，高达20千赫测量带宽 型号6810 6000系列振动测量，高达100千赫测量带宽
