忆阻器因其体积小而成为下一代存储设备
体积小、结构简单、密度高、功耗低。忆阻器是一种无源的双端子
具有内置非易失性存储器功能的主要电子设备,可在交叉开关中制造
结构在文献中,已经报道了关于忆阻器制造的独立研究,涉及
交叉电极的空间分辨率以及有源层的厚度。然而,本文提出
通过对所有增材制造技术的比较,对不同于其他技术的全面综述
以及它们对忆阻器阵列的发展的限制。对
图案分辨率、有源层制造、常用衬底和器件封装方法。
这篇综述将为研究人员,特别是印刷领域的研究人员提供坚实的基础
忆阻器器件。索引术语忆阻器,印刷技术,薄膜,交叉电极,忆阻器制造。
I.简介
忆阻器以电阻开关和
自20世纪60年代以来广泛研究[23],[24]。横杆
电阻开关阵列由于其
结构简单,不易挥发。1972年莱昂
蔡认为忆阻器是第四基本电子
元素[38]。从那时起
需要用一些物理模型来证明。2008年HP
实验室演示了一种电阻开关,他们称之为第一次
物理忆阻器[39]。忆阻器后来流行起来
并在全球范围内进行研究,其受欢迎程度可见一斑
自2010年以来发表的论文数量
如图1所示。忆阻器是一种无源双端子
由金属/电介质/金属堆叠组成的器件
结构物理操作机制依赖于
导电丝(CF)的形成和断裂
两个金属电极之间的夹层中的缺陷。
对于原始忆阻器,电铸的初始操作
通常需要生成CF[40]。一些
副主编负责协调对这份手稿的审查
批准出版的是孙俊伟。
的忆阻器装置不需要电铸
活性层和电极材料选择导致的CF
[41]、[42]中所述。在CF形成之后,忆阻器器件
可以在高电阻之间进行可逆切换
状态(HRS)和低电阻状态(LRS)。切换
从HRS到LRS的操作称为集合过程。
相反,从LRS到HRS的切换操作
称为重置过程。可以制造忆阻器器件
通过各种制造技术
设备的大小和目标应用。忆阻器尺寸
从纳米(nm)到微米(m)不等,具体取决于
论忆阻器的研制技术
[43][45]。印刷忆阻器的尺寸相对较大
即微米,而固态忆阻器处于
纳米尺寸[19],[46]。与固态处理相比,
印刷电子技术是
由于环境处理而使器件快速原型化,
低成本、快速制造和低材料浪费[47]。
印刷电子产品的这些吸引人的特点
吸引了研究人员探索新的材料途径
处理和开发在易失性上的电阻开关器件,
透明和可拉伸的基材 |